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第130章 ‘点光’测试

    带着感光芯片回到平江后,康驰又重新投入到了繁忙的工作中,同时出于优先级考虑,相机的事情也只能往后排。

    时间一天天过去,距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。

    终于,在11月13号的这天,何永的电话打过来了。

    “设备已经改造完毕,正在做实验前的最后检查工作,预计15号就可以开始进行测试了。”

    “嗯,我明天过来,这段时间辛苦你们了。”

    两人随后简单地聊了几句便结束了通话。

    随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作,确定在没有他的情况下,项目也能正常推进,然后便开始动身前往常春。

    两天后,常春光所的洁净实验室内,DPP-EUV光源项目组的研究人员,都已经全副武装地坚守在各自的岗位上,进行着测试前最后的一遍检查工作。

    康驰此时也站在控制室,隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备,内心同样充满期待。

    只要把光源搞定了,那他光刻机的研制进度,最少能暴涨三分之一。

    加上平江已经组装完毕的镜片制造设备,以及正在攻关的工件台。

    EUV光刻机三大件合体调试时间,已经是指日可待了。

    何永对设备的主要参数,以及实验条件进行最终核对后,走到了康驰的身边,尽量压沉音量道:“各项参数都已经核查无误,可以开始了。”

    “那就开始吧。”

    “嗯!”

    这次的实验主要分两个阶段进行,

    第一阶段只对设备进行通电,然后喷锡气,测试磁场是否能够和预想中的那样,把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。

    随着何永开始实验命令下发后,实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。

    设备通电,磁场加压……

    随着屏幕上的数据疯狂跳跃,数字最后定格在了三千高斯。

    这个磁场强度,和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比,但两者的体积和目的不同,其实没啥可比性,

    对于EUV光源来说,只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了,再高的强度也只是浪费电而已。

    “第一次喷射准备,喷射!”

    随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。

    嗯,这不是火箭发射,人根本就不可能通过肉眼,看到锡气的喷射……

    在用激光击打锡液的LPP方案中,为了产生稳定而高功率的光源,需要每秒发射5万次的激光,并且次次命中锡液。

    而在DPP方案中,则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现,技术难度简单很多,同时因为光电开关的频率提升难度小,功率的提升空间就非常大了。

    真正的限制,是锡气的喷射频率。

    受限于物理结构,目前能做到喷射频率只有每秒2万次。

    既然不能提高喷射频率,康驰就直接大力出奇迹,提高每次的喷射量,每喷一次就电它个五次甚至十次,最大程度地把锡转换成等离子体。

    反正有磁场约束,不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。

    即便如此,每秒2万次的频率也很夸张了。

    只能通过高速摄像机和各种分析仪器,回放实验数据,才可能观测到实验的结果。

    过了十分钟,测试的分析结果就出来了。

    “未发现锡元素外泄,全部锡气在0.8秒后冷凝成液态,顺利进入废料收集器!”

    听到分析员语气激动地念出结果,所有人的脸上都露出了喜悦的神色。

    这说明支撑这套设计方案中,最重要的磁场设计是可行的!

    所有人都已经能感受到,那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了!

    何永深吸了口气,压抑住内心的激动,沉声道:“继续下一个环节,10秒连续喷射。”

    然后,

    10秒,30秒,1分钟,10分钟,30分钟!

    测试的强度的不断提升,但都无一例外,全部顺利完成!

    何永终于抑制不住脸上的喜悦,神色激动地对康驰汇报道:“康博士……第一阶段实验全部顺利通过!”

    康驰点了点头:“那就直接开始第二阶段吧。”

    “好的!”

    虽然经过了一上午的实验,大家都有点饥肠辘辘了,但在这个节骨点,却没有任何人会有吃个饭再回来继续测试的想法。

    所有人都憋着气,期待着这台凝聚了他们无数日夜的心血,在另一条更具潜力的技术路线上‘点光’成功!

    “第一次电离准备,开始!”

    话音刚落,从光线收集器传来的数据,就传输到了大屏幕上。

    极紫外光参数从0W,直接跳到了500W!

    虽然这道500W的极紫外光,持续的时间仅仅只有0.00002秒,但所有人都知道,他们的一只手已经摸到了成功的大门了!

    “500W,我们成功了!”

    所有人都再也抑制不住内心的激动,站起来对着康驰鼓掌庆祝了。

    康驰的脸上,也不禁浮现出了一丝笑容:“是的,我们成功了。”

    不过,这是阶段性的验证,只能代表这条技术线路是真实可行的。

    接下来,他们还要像第一阶段的实验一样,不断提高实验强度,确定它是否已经可以稳定运行,直接进入商用阶段。

    十分钟后,具体的分析数据也出来了,在刚刚电离锡金属的时候,磁场依然完成了它的使命。

    它像一个无形的牢笼,牢牢地约束住了整个发光区域,没有让任何物质触碰到不该触碰的设备。

    接着康驰直接让何永上强度,从10秒到1分钟,第三轮直接就是30分钟!

    连续半个小时的稳定光源!

    到了这一步,基本已经可以证明,这台DPP-EUV光源,已经具备商用价值了!

    当今天最后一项测试结束后,整个实验室顿时就沸腾了。

    “成功了,真的成功了!”

    “我们有500W的EUV光源了!”

    “我的天,康博士的一次改良,竟然直接从80W干到了500W!”

    掌声和欢呼声在控制室内反复回荡,

    大家隔着厚厚的防护服互相拥抱,激动的泪水洒在了透明的防护面具上,更加增添了实验室的欢乐氛围。

    看到眼前的这一幕,何永的身体也不禁有些颤抖。

    这样的场景,他做梦都不知道做了多少次。

    直到今天,终于梦想成真了。

    只可惜,这成功并不是他给大家带来的……

    何永表情有些复杂地,转头看向身边这个年轻人。

    这年龄的人,在他们研究所,估计只有在助手中才能找到吧?

    “恭喜你,你赢了。”

    “谢谢。”

    康驰当然也能感受到,何永在激动之余的那抹失落,于是出言安慰道:“如果不是有伱们之前打下的坚实基础,并且能这么快完成设备改良,这一天肯定也不会这么快到来。”

    “其实我也不想成为最后摘桃子的,那多惹人厌啊……只要你们能按照之前的约定,以成本价给我供货,然后分我30%技术专利的利润,其它的看着办就行了。”

    何永摇了摇头:“你放心,我会如实填写实验报告,这么大的功劳就算扣在我头上,我也顶不起,能分点苦劳也够我入土前得意了。”

    呃……

    他这话虽然有点怪,但貌似也是这个理。

    功率突然从80W突破到了500W,成果实在太大了,

    哪怕何永只能分一点功劳,也比他之前几瓦、几十瓦地慢慢突破牛逼多了。

    (本章完)

    

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